Componentă | 99,9999% | Unitate |
Oxigen (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Azot | ≤0,1 | ppmV |
Hidrogen | ≤20 | ppmV |
Heliu | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Clorosilani | ≤0,1 | ppmV |
Disiloxan | ≤0,1 | ppmV |
Disilan | ≤0,1 | ppmV |
Umiditate (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Silanul este un compus format din siliciu și hidrogen. Este un termen general pentru o serie de compuși, inclusiv monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) și unii compuși siliciu-hidrogen de nivel superior. Printre aceștia, monosilanul este cel mai comun, uneori denumit pe scurt silan. Silanul este un gaz incolor cu un miros dezgustător de usturoi. Solubil în apă, aproape insolubil în etanol, eter, benzen, cloroform, cloroform de siliciu și tetraclorură de siliciu. Proprietățile chimice ale silanilor sunt mult mai active decât ale alcanilor și se oxidează ușor. Arderea spontană poate apărea în contact cu aerul. Nu reacționează cu azotul sub 25°C și nu reacționează cu compușii hidrocarburi la temperatura camerei. Incendiul și explozia silanului sunt rezultatul reacției cu oxigenul. Silanul este extrem de sensibil la oxigen și aer. Silanul cu o anumită concentrație va reacționa, de asemenea, exploziv cu oxigenul la o temperatură de -180°C. Silanul a devenit cel mai important gaz special utilizat în procesele microelectronice ale semiconductorilor și este utilizat în prepararea diferitelor pelicule microelectronice, inclusiv pelicule monocristaline, microcristaline, policristaline, oxid de siliciu, nitrură de siliciu și siliciuri metalice. Aplicațiile microelectronice ale silanului sunt încă în dezvoltare profundă: epitaxie la temperatură joasă, epitaxie selectivă și epitaxie heteroepitaxială. Nu numai pentru dispozitivele din siliciu și circuitele integrate din siliciu, ci și pentru dispozitivele semiconductoare compuse (arseniură de galiu, carbură de siliciu etc.). De asemenea, are aplicații în prepararea materialelor cu sonde cuantice superrețea. Se poate spune că silanul este utilizat în aproape toate liniile de producție avansate de circuite integrate în timpurile moderne. Aplicarea silanului ca peliculă și acoperire care conține siliciu s-a extins de la industria microelectronică tradițională la diverse domenii, cum ar fi oțelul, mașinile, produsele chimice și optica. O altă aplicație potențială a silanului este fabricarea de piese ceramice de înaltă performanță pentru motoare, în special utilizarea silanului pentru fabricarea tehnologiei micropulberilor de siliciu (Si3N4, SiC etc.) a atras din ce în ce mai multă atenție.
①Electronic:
Silanul se aplică pe straturile de siliciu policristalin de pe napolitanele de siliciu la fabricarea semiconductorilor și a materialelor de etanșare.
②Solar:
Silanul este utilizat în fabricarea modulelor solare fotovoltaice.
③Industrial:
Este utilizat în sticla verde de economisire a energiei și aplicat în procesul de depunere în peliculă subțire din vapori.
Produs | Silan SiH4 Lichid | |
Dimensiunea pachetului | Cilindru de 47 litri | Y-440L |
Greutate netă de umplere/cilindru | 10 kg | 125 kg |
Cantitate încărcată în container de 20' | 250 de cilindri | 8 cilindri |
Greutate netă totală | 2,5 tone | 1 tonă |
Greutate proprie a cilindrului | 52 kg | 680 kg |
Supapă | CGA632/DISS632 |
①Peste zece ani pe piață;
②Producător de certificate ISO;
③Livrare rapidă;
④Sursă stabilă de materie primă;
⑤Sistem de analiză online pentru controlul calității la fiecare etapă;
⑥Cerințe ridicate și proces meticulos pentru manipularea buteliilor înainte de umplere;
⑦Puritate: grad electronic de înaltă puritate;
⑧Utilizare: materiale pentru celule solare; fabricarea de polisilicon de înaltă puritate, oxid de siliciu și fibre optice; fabricarea de sticlă colorată.