Ce esteTetrafluorură de carbon? Care este utilizarea?
Tetrafluorură de carbon, cunoscut și sub numele de tetrafluorometan, este considerat ca un compus anorganic. Este utilizat în procesul de gravare plasmatică a diferitelor circuite integrate și, de asemenea, utilizat ca gaz laser și agent frigorific. Este relativ stabil sub temperatură și presiune normală, dar este necesar să se evite contactul cu oxidanți puternici, materiale inflamabile sau combustibile. Tetrafluorura de carbon este un gaz non-combustibil. Dacă întâlnește căldură ridicată, va determina creșterea presiunii interne a recipientului și există un pericol de crăpătură și explozie. De obicei, poate interacționa doar cu reactivul de metale de amoniac lichid la temperatura camerei.
Tetrafluorură de carboneste în prezent cel mai mare gaz de gravură cu plasmă utilizat în industria microelectronică. Poate fi utilizat pe scară largă în gravura de siliciu, dioxid de siliciu, sticlă fosfosilicată și alte materiale cu peliculă subțire, curățarea suprafeței dispozitivelor electronice, producției de celule solare, tehnologiei laser, izolației în fază de gaz, refrigerării la temperaturi scăzute, agenților de detectare a scurgerilor și detergenților în producția de circuit imprimat au un număr mare de aplicații.
Timpul post: 01-2021 nov
