Electronicgaze specialesunt o ramură importantă a gazelor speciale. Acestea pătrund în aproape fiecare verigă a producției de semiconductori și sunt materii prime indispensabile pentru producția industriilor electronice, cum ar fi circuitele integrate la scară ultra-mare, dispozitivele de afișare cu ecran plat și celulele solare.

În tehnologia semiconductorilor, gazele care conțin fluor sunt utilizate pe scară largă. În prezent, pe piața globală a gazelor electronice, gazele electronice care conțin fluor reprezintă aproximativ 30% din total. Gazele electronice care conțin fluor sunt o componentă importantă a gazelor electronice speciale din domeniul materialelor informaționale electronice. Acestea sunt utilizate în principal ca agenți de curățare și agenți de gravare, putând fi utilizate și ca dopanți, materiale peliculogene etc. În acest articol, autorul vă va îndruma să înțelegeți gazele comune care conțin fluor.

Următoarele sunt gazele care conțin fluor utilizate în mod obișnuit

Trifluorură de azot (NF3): Un gaz utilizat pentru curățarea și îndepărtarea depunerilor, de obicei utilizat pentru curățarea camerelor de reacție și a suprafețelor echipamentelor.

Hexafluorură de sulf (SF6)Agent de fluorurare utilizat în procesele de depunere a oxidului și ca gaz izolant pentru umplerea mediilor izolatoare.

Fluorură de hidrogen (HF): utilizată pentru îndepărtarea oxizilor de pe suprafața siliciului și ca agent de gravare pentru gravarea siliciului și a altor materiale.

Fluorură de azot (NF): Folosită pentru gravarea materialelor precum nitrura de siliciu (SiN) și nitrura de aluminiu (AlN).

Trifluorometan (CHF3) șitetrafluorometan (CF4)Folosit pentru gravarea materialelor fluorurate, cum ar fi fluorura de siliciu și fluorura de aluminiu.

Totuși, gazele care conțin fluor prezintă anumite pericole, inclusiv toxicitate, corozivitate și inflamabilitate.

Toxicitate

Unele gaze care conțin fluor sunt toxice, cum ar fi fluorura de hidrogen (HF), ai cărei vapori sunt foarte iritanti pentru piele și tractul respirator și dăunători sănătății umane.

Corozivitate

Fluorura de hidrogen și unele fluoruri sunt foarte corozive și pot provoca leziuni grave pielii, ochilor și tractului respirator.

Inflamabilitate

Unele fluoruri sunt inflamabile și reacționează cu oxigenul sau apa din aer eliberând căldură intensă și gaze toxice, care pot provoca incendii sau explozii.

Pericol de presiune înaltă

Unele gaze fluorurate sunt explozive la presiune înaltă și necesită o atenție specială la utilizare și depozitare.

Impactul asupra mediului

Gazele care conțin fluor au durate de viață atmosferice și valori GWP ridicate, care au un efect distructiv asupra stratului de ozon atmosferic și pot provoca încălzirea globală și poluarea mediului.

Aplicarea gazelor în domenii emergente precum electronica continuă să se aprofundeze, aducând o cerere nouă și semnificativă de gaze industriale. Având în vedere capacitatea mare de producție a componentelor electronice majore, cum ar fi semiconductorii și panourile de afișare, în China continentală în următorii ani, precum și cererea puternică de înlocuire a importurilor de materiale chimice electronice, industria internă a gazelor electronice va înregistra o rată de creștere ridicată.