Electronicgaze specialesunt o ramură importantă a gazelor speciale. Ele pătrund aproape în fiecare verigă a producției de semiconductori și sunt materii prime indispensabile pentru producția de industrii electronice, cum ar fi circuite integrate la scară foarte mare, dispozitive de afișare cu ecran plat și celule solare.

În tehnologia semiconductoarelor, gazele care conțin fluor sunt utilizate pe scară largă. În prezent, pe piața globală a gazelor electronice, gazele electronice care conțin fluor reprezintă aproximativ 30% din total. Gazele electronice care conțin fluor sunt o componentă importantă a gazelor electronice speciale în domeniul materialelor electronice de informare. Ele sunt utilizate în principal ca agenți de curățare și agenți de gravare și pot fi, de asemenea, utilizați ca dopanți, materiale peliculoase etc. În acest articol, autorul vă va duce să înțelegeți gazele obișnuite care conțin fluor.

Următoarele sunt gaze care conțin fluor utilizate în mod obișnuit

Trifluorura de azot (NF3): Un gaz utilizat pentru curățarea și îndepărtarea depunerilor, folosit de obicei pentru curățarea camerelor de reacție și a suprafețelor echipamentelor.

Hexafluorura de sulf (SF6): Un agent de fluorurare utilizat în procesele de depunere de oxid și ca gaz izolator pentru umplerea cu medii izolante.

Fluorura de hidrogen (HF): Folosit pentru a îndepărta oxizii de pe suprafața siliciului și ca agent de gravare pentru gravarea siliciului și a altor materiale.

Fluorura de azot (NF): Utilizată pentru gravarea materialelor precum nitrura de siliciu (SiN) și nitrura de aluminiu (AlN).

Trifluormetan (CHF3) șitetrafluormetan (CF4): Folosit pentru gravarea materialelor cu fluor, cum ar fi fluorura de siliciu și fluorura de aluminiu.

Cu toate acestea, gazele care conțin fluor prezintă anumite pericole, inclusiv toxicitatea, coroziunea și inflamabilitatea.

Toxicitate

Unele gaze care conțin fluor sunt toxice, cum ar fi fluorura de hidrogen (HF), ai cărei vapori sunt foarte iritanți pentru piele și tractul respirator și dăunători sănătății umane.

Corozivitate

Fluorura de hidrogen și unele fluoruri sunt foarte corozive și pot provoca leziuni grave ale pielii, ochilor și căilor respiratorii.

Inflamabilitate

Unele fluoruri sunt inflamabile și reacționează cu oxigenul sau apa din aer pentru a elibera căldură intensă și gaze toxice, care pot provoca incendiu sau explozie.

Pericol de înaltă presiune

Unele gaze fluorurate sunt explozive la presiune ridicată și necesită o atenție specială atunci când sunt utilizate și depozitate.

Impactul asupra mediului

Gazele care conțin fluor au durate de viață atmosferice și valori GWP ridicate, care au un efect distructiv asupra stratului de ozon atmosferic și pot provoca încălzirea globală și poluarea mediului.

Aplicarea gazelor în domenii emergente, cum ar fi electronica, continuă să se aprofundeze, aducând o cantitate mare de cerere nouă pentru gaze industriale. Pe baza cantității mari de noi capacități de producție a componentelor electronice majore, cum ar fi semiconductori și panouri de afișare în China continentală în următorii câțiva ani, precum și cererea puternică de înlocuire a importurilor de materiale chimice electronice, industria internă a gazelor electronice va introduce o rată de creștere ridicată.