Electronicgaze specialesunt o ramură importantă a gazelor speciale. Acestea pătrund aproape în fiecare legătură de producție de semiconductori și sunt materii prime indispensabile pentru producerea de industrii electronice, cum ar fi circuite integrate la scară ultra-mare, dispozitive de afișare cu panou plat și celule solare.

În tehnologia semiconductorului, gazele care conțin fluor sunt utilizate pe scară largă. În prezent, pe piața globală a gazelor electronice, gazele electronice care conțin fluor reprezintă aproximativ 30% din total. Gazele electronice care conțin fluor sunt o componentă importantă a gazelor electronice speciale în domeniul materialelor de informații electronice. Acestea sunt utilizate în principal ca agenți de curățare și agenți de gravură și pot fi, de asemenea, utilizate ca dopanți, materiale care formează film, etc. În acest articol, autorul vă va duce să înțelegeți gazele comune care conțin fluor.

Următoarele sunt utilizate în mod obișnuit gaze care conțin fluor

Trifluorură de azot (NF3): un gaz utilizat pentru curățarea și îndepărtarea depozitelor, de obicei utilizat pentru curățarea camerelor de reacție și a suprafețelor echipamentelor.

Hexafluorură de sulf (SF6): Un agent de fluorinare utilizat în procesele de depunere a oxidului și ca gaz izolant pentru umplerea mediilor izolatoare.

Fluorură de hidrogen (HF): utilizată pentru a îndepărta oxizii de pe suprafața siliciului și ca etangant pentru gravarea siliciului și a altor materiale.

Fluorură de azot (NF): utilizat pentru a gravura materiale precum azot de siliciu (SIN) și nitrură de aluminiu (ALN).

Trifluorometan (CHF3) șiTetrafluorometan (CF4): Folosit pentru a gravura materialele cu fluor, cum ar fi fluorura de siliciu și fluorul de aluminiu.

Cu toate acestea, gazele care conțin fluor au anumite pericole, inclusiv toxicitate, corozivitate și inflamabilitate.

Toxicitate

Unele gaze care conțin fluor sunt toxice, cum ar fi fluorul de hidrogen (HF), al cărui vapori este foarte iritant pentru piele și tractul respirator și dăunător sănătății umane.

Corozivitate

Fluorura de hidrogen și unele fluoruri sunt extrem de corozive și pot provoca leziuni grave pielii, ochilor și tractului respirator.

Inflamabilitate

Unele fluoruri sunt inflamabile și reacționează cu oxigen sau apă în aer pentru a elibera căldură intensă și gaze toxice, care pot provoca incendiu sau explozie.

Pericol de înaltă presiune

Unele gaze fluorurate sunt explozive sub presiune ridicată și necesită îngrijiri speciale atunci când sunt utilizate și depozitate.

Impact asupra mediului

Gazele care conțin fluor au o durată de viață atmosferică ridicată și valori GWP, care au un efect distructiv asupra stratului de ozon atmosferic și pot provoca încălzire globală și poluare a mediului.

Aplicarea gazelor în câmpuri emergente, cum ar fi electronica, continuă să se aprofundeze, aducând o cantitate mare de cerere nouă pentru gaze industriale. Pe baza cantității mari de nouă capacitate de producție a componentelor electronice majore, cum ar fi semiconductorii și panourile de afișare în China continentală în următorii câțiva ani, precum și cererea puternică de substituție de import a materialelor chimice electronice, industria electronică internă va fi într -o rată de creștere ridicată.