Hexafluorura de wolfram (WF6) este depusă pe suprafața plachetei printr-un proces CVD, umplând șanțurile de interconectare metalică și formând interconexiunea metalică între straturi.
Să vorbim mai întâi despre plasmă. Plasma este o formă de materie compusă în principal din electroni liberi și ioni încărcați. Există pe scară largă în univers și este adesea considerată a patra stare a materiei. Se numește stare de plasmă, numită și „plasmă”. Plasma are o conductivitate electrică ridicată și are un efect puternic de cuplare cu câmpul electromagnetic. Este un gaz parțial ionizat, compus din electroni, ioni, radicali liberi, particule neutre și fotoni. Plasma în sine este un amestec neutru din punct de vedere electric care conține particule active fizic și chimic.
Explicația simplă este că sub acțiunea energiei mari, molecula va depăși forța van der Waals, forța de legătură chimică și forța Coulomb și va prezenta o formă de electricitate neutră în ansamblu. În același timp, energia mare transmisă de exterior învinge cele trei forțe de mai sus. Funcția, electronii și ionii prezintă o stare liberă, care poate fi utilizată artificial sub modularea unui câmp magnetic, cum ar fi procesul de gravare a semiconductorilor, procesul CVD, procesul PVD și IMP.
Ce este energia mare? În teorie, pot fi utilizate atât RF de temperatură înaltă, cât și de înaltă frecvență. În general, temperatura ridicată este aproape imposibil de atins. Această cerință de temperatură este prea mare și poate fi apropiată de temperatura soarelui. Practic, este imposibil de realizat în acest proces. Prin urmare, industria folosește de obicei RF de înaltă frecvență pentru a-l realiza. RF cu plasmă poate ajunge până la 13MHz+.
Hexafluorura de wolfram este plasmizată sub acțiunea unui câmp electric și apoi depusă în vapori de un câmp magnetic. Atomii W sunt asemănători penelor de gâscă de iarnă și cad la pământ sub acțiunea gravitației. Încet, atomii de W sunt depuși în găurile traversante și, în cele din urmă, sunt umplute complet pentru a forma interconexiuni metalice. Pe lângă depunerea atomilor de W în găurile de trecere, se vor depune și pe suprafața Wafer-ului? Da, cu siguranță. În general, puteți utiliza procesul W-CMP, care este ceea ce numim procesul de șlefuire mecanică pentru îndepărtare. Este asemănător cu folosirea unei mături pentru a mătura podeaua după zăpadă abundentă. Zăpada de pe pământ este măturată, dar zăpada din gaura de pe pământ va rămâne. Jos, cam la fel.
Ora postării: 24-dec-2021
