Gazele electronice speciale care conțin fluor includhexafluorură de sulf (SF6), hexafluorura de wolfram (WF6),tetrafluorură de carbon (CF4), trifluorometan (CHF3), trifluorură de azot (NF3), hexafluoroetan (C2F6) și octafluoropropan (C3F8).
Odată cu dezvoltarea nanotehnologiei și dezvoltarea la scară largă a industriei electronice, cererea acesteia va crește zi de zi. Trifluorura de azot, ca gaz electronic special indispensabil și cel mai utilizat în producția și prelucrarea panourilor și semiconductorilor, are un spațiu larg de piață.
Ca un tip de gaz special care conține fluor,trifluorură de azot (NF3)este produsul electronic special de gaz cu cea mai mare capacitate de piață. Este inert chimic la temperatura camerei, mai activ decât oxigenul la temperaturi ridicate, mai stabil decât fluorul și ușor de manipulat. Trifluorura de azot este utilizată în principal ca gaz de gravare cu plasmă și agent de curățare a camerei de reacție și este potrivită pentru domeniile de fabricație a cipurilor semiconductoare, a afișajelor cu ecran plat, a fibrelor optice, a celulelor fotovoltaice etc.
Comparativ cu alte gaze electronice care conțin fluor,trifluorură de azotAre avantajele reacției rapide și ale eficienței ridicate. În special în gravarea materialelor care conțin siliciu, cum ar fi nitrura de siliciu, are o rată de gravare și o selectivitate ridicate, fără a lăsa reziduuri pe suprafața obiectului gravat. De asemenea, este un agent de curățare foarte bun și nu poluează suprafața, ceea ce poate satisface nevoile procesului de procesare.
Data publicării: 14 septembrie 2024
