Gazele electronice speciale obișnuite care conțin fluor includhexafluorura de sulf (SF6), hexafluorura de wolfram (WF6),tetrafluorura de carbon (CF4), trifluormetan (CHF3), trifluorura de azot (NF3), hexafluoretan (C2F6) și octafluorpropan (C3F8).
Odată cu dezvoltarea nanotehnologiei și dezvoltarea pe scară largă a industriei electronice, cererea acesteia va crește zi de zi. Trifluorura de azot, ca gaz electronic special indispensabil și cel mai utilizat în producția și prelucrarea panourilor și semiconductorilor, are un spațiu larg de piață.
Ca tip de gaz special care conține fluor,trifluorura de azot (NF3)este produsul electronic de gaz special cu cea mai mare capacitate de piata. Este inert din punct de vedere chimic la temperatura camerei, mai activ decât oxigenul la temperatură ridicată, mai stabil decât fluorul și ușor de manevrat. Trifluorura de azot este utilizată în principal ca gaz de gravare cu plasmă și agent de curățare a camerei de reacție și este potrivită pentru domeniile de producție de cipuri semiconductoare, afișaje cu ecran plat, fibre optice, celule fotovoltaice etc.
În comparație cu alte gaze electronice care conțin fluor,trifluorura de azotare avantajele reacției rapide și eficienței ridicate. În special în gravarea materialelor care conțin siliciu, cum ar fi nitrura de siliciu, are o rată și selectivitate ridicate de gravare, fără a lăsa reziduuri pe suprafața obiectului gravat. Este, de asemenea, un agent de curățare foarte bun și nu are nicio poluare la suprafață, ceea ce poate satisface nevoile procesului de prelucrare.
Ora postării: 14-sept-2024
