Gazele electronice speciale care conțin fluor comun includhexafluorură de sulf (SF6), tungsten hexafluoride (WF6),Tetrafluorură de carbon (CF4), trifluorometan (CHF3), azot trifluorură (NF3), hexafluoroetan (C2F6) și octafluoropropan (C3F8).
Odată cu dezvoltarea nanotehnologiei și dezvoltarea pe scară largă a industriei electronice, cererea sa va crește zi de zi. Trifluorura de azot, ca gaz electronic special indispensabil și cel mai mare în producția și prelucrarea panourilor și semiconductorilor, are un spațiu larg de piață.
Ca tip de gaz special care conține fluor,Trifluorură de azot (NF3)este produsul electronic cu gaz special cu cea mai mare capacitate de piață. Este inert chimic la temperatura camerei, mai activ decât oxigenul la temperaturi ridicate, mai stabil decât fluor și ușor de manevrat. Trifluoride de azot este utilizat în principal ca gaz de gravare plasmatică și un agent de curățare a camerei de reacție și este potrivit pentru câmpurile de fabricație ale cipurilor cu semiconductor, afișaje cu panou plat, fibre optice, celule fotovoltaice etc.
În comparație cu alte gaze electronice care conțin fluor,Trifluor de azotare avantajele reacției rapide și a eficienței ridicate. Mai ales în gravarea materialelor care conțin siliciu, cum ar fi nitrura de siliciu, are o rată ridicată de gravură și selectivitate, fără a lăsa reziduuri pe suprafața obiectului gravat. De asemenea, este un agent de curățare foarte bun și nu are poluare la suprafață, care poate răspunde nevoilor procesului de procesare.
Timpul post: 14-2024 sept
