În 2018, piața globală a gazelor electronice pentru circuite integrate a ajuns la 4,512 miliarde USD, o creștere de 16%de la an la an. Rata ridicată de creștere a industriei electronice a gazelor speciale pentru semiconductori și dimensiunea uriașă a pieței au accelerat planul de substituție internă al gazelor electronice speciale!
Ce este gazul de electroni?
Gazul electronic se referă la materialul sursă de bază utilizat la producerea de semiconductori, afișaje cu panou plat, diode care emit ușor, celule solare și alte produse electronice și este utilizat pe scară largă în curățare, gravură, formare de film, dopaj și alte procese. Principalele zone de aplicare a gazelor electronice includ industria electronică, celulele solare, comunicațiile mobile, navigația auto și sistemele de audio și video auto, aerospațial, industria militară și multe alte domenii.
Gazul special electronic poate fi împărțit în șapte categorii în funcție de propria compoziție chimică: siliciu, arsenic, fosfor, bor, hidrură metalică, halogen și alcoxid de metal. Conform diferitelor metode de aplicare în circuitele integrate, acesta poate fi împărțit în gaz dopaj, gaze de epitaxie, gaze de implantare ionică, gaz cu diodă cu emisie ușoară, gaze de gravură, depunere de vapori chimici și gaz de echilibru. Există mai mult de 110 unități de gaze speciale utilizate în industria semiconductorilor, dintre care mai mult de 30 sunt utilizate în mod obișnuit.
În general, industria producției de semiconductori împarte gazele în două tipuri: gaze comune și gaze speciale. Printre aceștia, gazul utilizat frecvent se referă la o aprovizionare centralizată și folosește o mulțime de gaz, cum ar fi N2, H2, O2, AR, HE, etc. Gazul special se referă la unele gaze chimice utilizate în procesul de producție de semiconductori, cum ar fi extensia, injecția de ioni, amestecarea, spălarea și formarea de mască, ceea ce numim acum gaze speciale electronice, cum ar fi SIH4, N2O, N2O, Pitical SIH4, Ph3, Ash3, B2H6, n2 NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2, etc.
În întregul proces de producție al industriei semiconductorilor, de la creșterea cipurilor până la ambalajul final al dispozitivului, aproape fiecare legătură este inseparabilă de gazul special electronic și de varietatea de gaze utilizate și de cerințele de înaltă calitate, astfel încât gazul electronic are materiale semiconductoare. „Mâncare”.
În ultimii ani, marile componente electronice din China, cum ar fi semiconductorii și panourile de afișare, au crescut în capacitatea de producție nouă și există o cerere puternică de substituție de import a materialelor chimice electronice. Poziția gazelor electronice în industria semiconductorilor a devenit din ce în ce mai proeminentă. Industria internă a gazelor electronice va crește în creștere rapidă.
Gazul special electronic are cerințe foarte mari pentru puritate, deoarece, dacă puritatea nu este în conformitate cu cerințele, grupurile de impuritate, cum ar fi vaporii de apă și oxigenul în gazul special electronic vor forma cu ușurință peliculă de oxid pe suprafața semiconductorului, care afectează durata de viață a dispozitivelor electronice, iar gazul special electronic conține particule ale impurităților pot provoca daune electronice speciale și circuit. Se poate spune că îmbunătățirea purității joacă un rol vital în randamentul și performanța producției electronice de dispozitiv.
Odată cu dezvoltarea continuă a industriei semiconductorilor, procesul de fabricație a cipurilor continuă să se îmbunătățească, iar acum a ajuns la 5 nm, care urmează să abordeze limita legii lui Moore, care este echivalentă cu unu-douăzeci de diametrul unui păr uman (aproximativ 0,1 mm). Prin urmare, acest lucru pune, de asemenea, cerințe mai mari privind puritatea gazelor speciale electronice produse de semiconductori.
Ora post: 15-2021 decembrie
