În 2018, piața globală a gazelor electronice pentru circuite integrate a atins 4,512 miliarde USD, o creștere de 16% față de anul precedent. Rata ridicată de creștere a industriei electronice de gaze speciale pentru semiconductori și dimensiunea uriașă a pieței au accelerat planul intern de înlocuire a gazelor speciale electronice!
Ce este gazul de electroni?
Gazul electronic se referă la materialul sursă de bază utilizat în producția de semiconductori, afișaje cu ecran plat, diode emițătoare de lumină, celule solare și alte produse electronice și este utilizat pe scară largă în curățare, gravare, formare de peliculă, dopaj și alte procese. Principalele domenii de aplicare ale gazului electronic includ industria electronică, celulele solare, comunicațiile mobile, navigația auto și sistemele audio și video auto, industria aerospațială, industria militară și multe alte domenii.
Gazul special electronic poate fi împărțit în șapte categorii în funcție de propria compoziție chimică: siliciu, arsen, fosfor, bor, hidrură de metal, halogenură și alcoxid de metal. Conform diferitelor metode de aplicare în circuite integrate, acesta poate fi împărțit în gaz dopant, gaz epitaxie, gaz de implantare ionică, gaz de diodă emițătoare de lumină, gaz de gravare, gaz de depunere în vapori chimici și gaz de echilibru. Există mai mult de 110 de unități de gaze speciale utilizate în industria semiconductoarelor, dintre care mai mult de 30 sunt utilizate în mod obișnuit.
În general, industria producției de semiconductori împarte gazele în două tipuri: gaze comune și gaze speciale. Printre acestea, gazul utilizat în mod obișnuit se referă la o alimentare centralizată și utilizează mult gaz, cum ar fi N2, H2, O2, Ar, He etc. Gazul special se referă la unele gaze chimice utilizate în procesul de producție a semiconductoarelor, cum ar fi extensie, injecție de ioni, amestecare, spălare și formare de măști, ceea ce numim acum gaz special electronic, cum ar fi SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, de înaltă puritate, HCI, Cl2 etc.
În întregul proces de producție al industriei semiconductoarelor, de la creșterea cipurilor până la ambalarea finală a dispozitivului, aproape fiecare legătură este inseparabilă de gazul special electronic și varietatea de gaze utilizate și cerințele de înaltă calitate, astfel încât gazul electronic are materiale semiconductoare. „Mâncare”.
În ultimii ani, componentele electronice majore ale Chinei, cum ar fi semiconductoarele și panourile de afișare, au crescut în noua capacitate de producție și există o cerere puternică pentru înlocuirea importurilor de materiale chimice electronice. Poziția gazelor electronice în industria semiconductoarelor a devenit din ce în ce mai proeminentă. Industria internă a gazelor electronice va introduce o creștere rapidă.
Gazul special electronic are cerințe foarte ridicate pentru puritate, deoarece, dacă puritatea nu este la nivelul cerințelor, grupurile de impurități, cum ar fi vaporii de apă și oxigenul din gazul special electronic, vor forma cu ușurință peliculă de oxid pe suprafața semiconductorului, care afectează durata de viață a dispozitivelor electronice, iar gazul special electronic conține Particulele de impurități pot provoca scurtcircuite ale semiconductoarelor și deteriorarea circuitului. Se poate spune că îmbunătățirea purității joacă un rol vital în randamentul și performanța producției de dispozitive electronice.
Odată cu dezvoltarea continuă a industriei semiconductoarelor, procesul de fabricare a cipurilor continuă să se îmbunătățească, iar acum a ajuns la 5 nm, ceea ce este pe cale să se apropie de limita Legii lui Moore, care este echivalent cu o douăzecime din diametrul unui păr uman ( aproximativ 0,1 mm). Prin urmare, acest lucru impune și cerințe mai mari privind puritatea gazului special electronic produs de semiconductori.
Ora postării: 15-12-2021
