În 2018, piața globală a gazelor electronice pentru circuite integrate a atins 4,512 miliarde USD, o creștere de 16% față de anul precedent. Rata ridicată de creștere a industriei gazelor electronice speciale pentru semiconductori și dimensiunea uriașă a pieței au accelerat planul intern de substituire a gazelor electronice speciale!
Ce este gazul de electroni?
Gazul electronic se referă la materialul sursă de bază utilizat în producția de semiconductori, afișaje cu ecran plat, diode emițătoare de lumină, celule solare și alte produse electronice și este utilizat pe scară largă în curățare, gravare, formarea peliculelor, dopare și alte procese. Principalele domenii de aplicare ale gazului electronic includ industria electronică, celulele solare, comunicațiile mobile, navigația auto și sistemele audio și video auto, industria aerospațială, industria militară și multe alte domenii.
Gazele speciale pentru electronice pot fi împărțite în șapte categorii în funcție de compoziția lor chimică: siliciu, arsenic, fosfor, bor, hidrură metalică, halogenură și alcoxid metalic. Conform diferitelor metode de aplicare în circuitele integrate, acestea pot fi împărțite în gaze de dopare, gaze de epitaxie, gaze de implantare ionică, gaze de diode emițătoare de lumină, gaze de gravare, gaze de depunere chimică din vapori și gaze de echilibrare. În industria semiconductorilor se utilizează peste 110 unități de gaze speciale, dintre care peste 30 sunt utilizate în mod obișnuit.
În general, industria producției de semiconductori împarte gazele în două tipuri: gaze comune și gaze speciale. Printre acestea, gazul utilizat în mod obișnuit se referă la o alimentare centralizată și utilizează o cantitate mare de gaz, cum ar fi N2, H2, O2, Ar, He etc. Gazul special se referă la unele gaze chimice utilizate în procesul de producție a semiconductorilor, cum ar fi extensia, injecția de ioni, amestecarea, spălarea și formarea măștilor, ceea ce numim acum gaz electronic special, cum ar fi SiH4 de înaltă puritate, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 etc.
În întregul proces de producție al industriei semiconductorilor, de la dezvoltarea cipurilor până la ambalarea finală a dispozitivului, aproape fiecare verigă este inseparabilă de gazul special electronic, iar varietatea gazelor utilizate și cerințele de înaltă calitate fac ca gazul electronic să fie compus din materiale semiconductoare. „Alimente”.
În ultimii ani, principalele componente electronice din China, cum ar fi semiconductorii și panourile de afișare, au înregistrat o creștere a capacității de producție, existând o cerere puternică pentru înlocuirea importurilor de materiale chimice electronice. Poziția gazelor electronice în industria semiconductorilor a devenit din ce în ce mai importantă. Industria internă a gazelor electronice va iniția o creștere rapidă.
Gazul special pentru electronice are cerințe foarte ridicate de puritate, deoarece dacă puritatea nu corespunde cerințelor, grupurile de impurități, cum ar fi vaporii de apă și oxigenul din gazul special pentru electronice, vor forma cu ușurință o peliculă de oxid pe suprafața semiconductorului, ceea ce afectează durata de viață a dispozitivelor electronice, iar particulele de impurități din gazul special pentru electronice pot provoca scurtcircuite și deteriorarea circuitelor semiconductorilor. Se poate spune că îmbunătățirea purității joacă un rol vital în randamentul și performanța producției de dispozitive electronice.
Odată cu dezvoltarea continuă a industriei semiconductorilor, procesul de fabricație a cipurilor continuă să se îmbunătățească, ajungând acum la 5 nm, ceea ce este pe cale să se apropie de limita Legii lui Moore, echivalentă cu o douăzecea parte din diametrul unui fir de păr uman (aproximativ 0,1 mm). Prin urmare, acest lucru impune cerințe mai ridicate privind puritatea gazului electronic special produs de semiconductori.
Data publicării: 15 decembrie 2021
