Clorură de hidrogeneste un gaz incolor, cu miros înțepător. Soluția sa apoasă se numește acid clorhidric, cunoscut și sub denumirea de acid clorhidric. Clorura de hidrogen este foarte solubilă în apă. La 0 ° C, 1 volum de apă se poate dizolva aproximativ 500 de volume de clorură de hidrogen.

Are următoarele proprietăți și caracteristici:

1. Puritate înaltă

Puritatea gradului electronicclorură de hidrogeneste foarte mare, de obicei la PPM sau la nivel inferior, pentru a se asigura că nu sunt introduse impurități în procesul de fabricație a semiconductorilor.

2. inertness

Este un gaz inert chimic care nu reacționează cu multe alte substanțe, ceea ce este foarte important pentru a preveni contaminarea materialelor și echipamentelor semiconductoare.

3. Stabilitate ridicată

Grad electronicclorură de hidrogenÎn general, are o chimie stabilă pentru a asigura o prelucrare fiabilă a semiconductorilor.

În procesarea semiconductorilor, principalele aplicații ale clorurii de hidrogen de calitate electronică includ:

1. Curățarea și pregătirea suprafeței

Ca un curățător de suprafață eficient, gradul electronicclorură de hidrogeneste utilizat pentru a elimina oxizii și impuritățile de pe suprafața substratului pentru a asigura calitatea și puritatea stratului sau filmului epitaxial.

2. Ajutor de creștere epitaxială

Folosit ca agent de tratare a suprafeței în procesul epitaxial, ajută la îmbunătățirea calității stratului epitaxial, la îmbunătățirea potrivirii cu zăbrele și la reducerea formării defectelor de zăpadă.

3. Pretratarea substratului

Înainte de pregătirea dispozitivelor semiconductoare, grad electronicclorură de hidrogenPoate fi utilizat pentru a trata suprafața substratului pentru a forma o bază stabilă pentru a îmbunătăți aderența dintre stratul epitaxial și substrat.

4. Depunerea agentului auxiliar

În procesul de depunere a vaporilor chimici (CVD) sau depunere de vapori fizici (PVD), clorura de hidrogen de calitate electronică poate fi utilizată ca mediu de transfer de fază a gazelor pentru a participa la reacția de depunere a materialelor semiconductoare.

5. Agent de transfer în fază de gaz

Ca agent de transfer în fază de gaz, sunt introduși alți precursori gazoși în camera de reacție pentru a ajuta la ajustarea ratei de depunere și uniformitatea materialului.

Aceste caracteristici fac gradul electronicclorură de hidrogenUn agent de procesare important în tehnologia semiconductorului, care are un impact cheie asupra performanței și fiabilității dispozitivului final.

În plus față de utilizarea sa în procesarea semiconductorilor, clorura de hidrogen de calitate electronică poate găsi o varietate de utilizări în alte zone, inclusiv: prepararea materialelor de înaltă puritate, celule de combustibil, creșterea materialelor semiconductoare, litografie în fază de vapori, analiza materialelor, cercetare chimică.

În general, gradul electronicclorură de hidrogeneste un gaz versatil, de înaltă puritate, care are o gamă largă de aplicații în afara producției de semiconductori.