Clorură de hidrogeneste un gaz incolor cu miros înțepător. Soluția sa apoasă se numește acid clorhidric, cunoscut și sub numele de acid clorhidric. Clorura de hidrogen este foarte solubilă în apă. La 0°C, 1 volum de apă poate dizolva aproximativ 500 de volume de clorură de hidrogen.

Are următoarele proprietăți și caracteristici:

1. Puritate ridicată

Puritatea gradului electronicclorură de hidrogeneste foarte ridicată, de obicei la ppm sau la un nivel mai scăzut, pentru a se asigura că nu sunt introduse impurități în procesul de fabricație a semiconductorilor.

2. Inerție

Este un gaz inert chimic care nu reacționează cu multe alte substanțe, ceea ce este foarte important pentru a preveni contaminarea materialelor și echipamentelor semiconductoare.

3. Stabilitate ridicată

Grad electronicclorură de hidrogenîn general, are o chimie stabilă pentru a asigura o procesare fiabilă a semiconductorilor.

În prelucrarea semiconductorilor, principalele aplicații ale clorurii de hidrogen de calitate electronică includ:

1. Curățarea și pregătirea suprafeței

Ca un produs eficient de curățare a suprafețelor, de calitate electronicăclorură de hidrogense utilizează pentru îndepărtarea oxizilor și impurităților de pe suprafața substratului pentru a asigura calitatea și puritatea stratului sau peliculei epitaxiale.

2. Ajutor pentru creșterea epitaxială

Utilizat ca agent de tratare a suprafeței în procesul epitaxial, ajută la îmbunătățirea calității stratului epitaxial, la îmbunătățirea potrivirii rețelei și la reducerea formării defectelor de rețea.

3. Pretratarea substratului

Înainte de pregătirea dispozitivelor semiconductoare, de calitate electronicăclorură de hidrogenpoate fi utilizat pentru a trata suprafața substratului pentru a forma o bază stabilă pentru a îmbunătăți aderența dintre stratul epitaxial și substrat.

4. Agent auxiliar de depunere

În procesul de depunere chimică în fază de vapori (CVD) sau depunere fizică în fază de vapori (PVD), clorura de hidrogen de calitate electronică poate fi utilizată ca mediu de transfer în fază gazoasă pentru a participa la reacția de depunere a materialelor semiconductoare.

5. Agent de transfer în fază gazoasă

Ca agent de transfer în fază gazoasă, în camera de reacție sunt introduși alți precursori gazoși pentru a ajuta la reglarea ratei de depunere și a uniformității materialului.

Aceste caracteristici fac ca electronica să fie de calitate superioarăclorură de hidrogenun agent de procesare important în tehnologia semiconductorilor, care are un impact cheie asupra performanței și fiabilității dispozitivului final.

Pe lângă utilizarea sa în procesarea semiconductorilor, clorura de hidrogen de calitate electronică poate găsi o varietate de utilizări și în alte domenii, inclusiv: Prepararea materialelor de înaltă puritate, Pile de combustie, Creșterea materialelor semiconductoare, Litografie în fază de vapori, Analiza materialelor, Cercetare chimică.

În general, gradul electronicclorură de hidrogeneste un gaz versatil, de înaltă puritate, care are o gamă largă de aplicații în afara fabricării semiconductorilor.