Gazul laser este utilizat în principal pentru recoacerea cu laser și gazul de litografie în industria electronică. Beneficiind de inovația ecranelor telefoanelor mobile și de extinderea domeniilor de aplicare, amploarea pieței polisiliconului la temperatură joasă va fi extinsă în continuare, iar procesul de recoacere cu laser a îmbunătățit semnificativ performanța TFT-urilor. Printre gazele neon, fluor și argon utilizate în laserul excimer ArF pentru fabricarea semiconductorilor, neonul reprezintă peste 96% din amestecul de gaze laser. Odată cu rafinarea tehnologiei semiconductorilor, utilizarea laserelor excimeri a crescut, iar introducerea tehnologiei de expunere dublă a dus la o creștere bruscă a cererii de gaz neon consumat de laserele excimeri ArF. Beneficiind de promovarea localizării gazelor speciale electronice, producătorii autohtoni vor avea un spațiu de creștere a pieței mai bun în viitor.
Mașina de litografie este echipamentul de bază în fabricarea semiconductorilor. Litografia definește dimensiunea tranzistoarelor. Dezvoltarea coordonată a lanțului industriei litografiei este cheia succesului în domeniul mașinilor de litografie. Materialele semiconductoare potrivite, cum ar fi fotorezistul, gazul de fotolitografie, fotomasca și echipamentele de acoperire și developare, au un conținut tehnologic ridicat. Gazul de litografie este gazul cu care mașina de litografie generează laser ultraviolet profund. Diferite gaze de litografie pot produce surse de lumină de diferite lungimi de undă, iar lungimea lor de undă afectează direct rezoluția mașinii de litografie, care este unul dintre nucleele mașinii de litografie. În 2020, vânzările globale totale de mașini de litografie au fost de 413 unități, dintre care vânzările ASML - 258 de unități - au reprezentat 62%, vânzările Canon - 122 de unități - 30%, iar vânzările Nikon - 33 de unități - 8%.
Data publicării: 15 oct. 2021
