Gazul laser este utilizat în principal pentru recoacere cu laser și gaz de litografie în industria electronică. Beneficiind de inovația ecranelor telefoanelor mobile și de extinderea zonelor de aplicare, scara pieței de polisiliciu de joasă temperatură va fi extinsă în continuare, iar procesul de recoacere cu laser a îmbunătățit semnificativ performanța TFT-urilor. Dintre gazele de neon, fluor și argon utilizate în laserul excimer ArF pentru fabricarea semiconductorilor, neonul reprezintă mai mult de 96% din amestecul de gaz laser. Odată cu perfecţionarea tehnologiei semiconductoare, utilizarea laserelor cu excimeri a crescut, iar introducerea tehnologiei de dublă expunere a dus la o creştere bruscă a cererii de gaz neon consumat de laserele cu excimeri ArF. Beneficiind de promovarea localizării gazelor de specialitate electronice, producătorii autohtoni vor avea un spațiu de creștere mai bun pe piață în viitor.
Mașina de litografie este echipamentul de bază al producției de semiconductori. Litografia definește dimensiunea tranzistorilor. Dezvoltarea coordonată a lanțului industriei litografiei este cheia descoperirii mașinii de litografie. Materialele semiconductoare potrivite, cum ar fi fotorezista, gazul fotolitografic, fotomasca și echipamentele de acoperire și dezvoltare au un conținut tehnologic ridicat. Gazul de litografie este gazul pe care aparatul de litografie îl generează cu laserul ultraviolet profund. Diferite gaze de litografie pot produce surse de lumină de diferite lungimi de undă, iar lungimea lor de undă afectează direct rezoluția mașinii de litografie, care este unul dintre nucleele mașinii de litografie. În 2020, vânzările globale totale de mașini de litografie vor fi de 413 unități, dintre care vânzările ASML 258 unități au reprezentat 62%, vânzările Canon 122 unități au reprezentat 30%, iar vânzările Nikon 33 unități au reprezentat 8%.
Ora postării: 15-oct-2021
