Triclorură de bor (BCl3)este un compus anorganic utilizat în mod obișnuit în procesele de gravare uscată și depunere chimică în fază de vapori (CVD) în fabricarea semiconductorilor. Este un gaz incolor cu un miros puternic înțepător la temperatura camerei și este sensibil la aerul umed deoarece hidrolizează pentru a produce acid clorhidric și acid boric.

Aplicații ale triclorurii de bor

În industria semiconductorilor,Triclorură de boreste utilizat în principal pentru gravarea uscată a aluminiului și ca dopant pentru a forma regiuni de tip P pe napolitane de siliciu. Poate fi utilizat și pentru gravarea materialelor precum GaAs, Si, AlN și ca sursă de bor în anumite aplicații specifice. În plus, triclorura de bor este utilizată pe scară largă în prelucrarea metalelor, industria sticlei, analiza chimică și cercetarea de laborator.

Siguranța triclorurii de bor

Triclorură de boreste coroziv și toxic și poate provoca leziuni grave ochilor și pielii. Se hidrolizează în aer umed, eliberând clorură de hidrogen gazoasă toxică. Prin urmare, trebuie luate măsuri de siguranță adecvate la manipulare.Triclorură de bor, inclusiv purtarea de îmbrăcăminte de protecție, ochelari de protecție și echipament de protecție respiratorie și operarea într-un mediu bine ventilat.