Triclorură de bor (BCL3)este un compus anorganic utilizat frecvent în procesele de gravură uscată și de depunere de vapori chimici (CVD) în fabricarea semiconductorilor. Este un gaz incolor, cu un miros puternic înțepător la temperatura camerei și este sensibil la aerul umed, deoarece se hidrolizează pentru a produce acid clorhidric și acid boric.

Aplicații de triclorură de bor

În industria semiconductorilor,Trichlorură de boreste utilizat în principal pentru gravarea uscată a aluminiului și ca dopant pentru a forma regiuni de tip P pe napolitane de siliciu. Poate fi, de asemenea, utilizat pentru a grava materiale precum GaAs, SI, ALN și ca sursă de bor în anumite aplicații specifice. În plus, triclorura de bor este utilizată pe scară largă în procesarea metalelor, industria sticlei, analiza chimică și cercetarea de laborator.

Siguranța triclorurii de bor

Trichlorură de boreste coroziv și toxic și poate provoca daune grave ochilor și pielii. Se hidrolizează în aer umed pentru a elibera gaz de clorură de hidrogen toxic. Prin urmare, trebuie luate măsuri adecvate de siguranță la manipulareTrichlorură de bor, inclusiv purtarea de îmbrăcăminte de protecție, ochelari de protecție și echipamente de protecție respiratorie și funcționare într-un mediu bine ventilat.