Tetrafluorura de carbon (CF4)

Parametrii tehnici

Tetrafluorura de carbon este o hidrocarbură halogenată cu formula chimică CF4. Poate fi privit ca o hidrocarbură halogenată, metan halogenat, perfluorocarbură sau ca un compus anorganic. Tetrafluorura de carbon este un gaz incolor și inodor, insolubil în apă, solubil în benzen și cloroform. Stabil la temperaturi și presiune normale, evitați oxidanții puternici, materialele inflamabile sau combustibile. Gaz necombustibil, presiunea internă a recipientului va crește atunci când este expus la căldură ridicată și există pericol de crăpare și explozie. Este stabil din punct de vedere chimic și neinflamabil. Numai reactivul lichid amoniac-sodiu metal poate funcționa la temperatura camerei. Tetrafluorura de carbon este un gaz care provoacă efectul de seră. Este foarte stabil, poate rămâne în atmosferă mult timp și este un gaz cu efect de seră foarte puternic. Tetrafluorura de carbon este utilizată în procesul de gravare cu plasmă a diferitelor circuite integrate. De asemenea, este folosit ca gaz laser și este utilizat în agenți frigorifici la temperatură joasă, solvenți, lubrifianți, materiale izolatoare și lichide de răcire pentru detectoare cu infraroșu. Este cel mai folosit gaz de gravare cu plasmă în industria microelectronică. Este un amestec de gaz tetrafluormetan de înaltă puritate și tetrafluormetan gaz de înaltă puritate și oxigen de înaltă puritate. Poate fi utilizat pe scară largă în siliciu, dioxid de siliciu, nitrură de siliciu și sticla fosfosilicata. Gravarea materialelor cu film subțire, cum ar fi wolfram și wolfram, este, de asemenea, utilizată pe scară largă în curățarea suprafețelor dispozitivelor electronice, producția de celule solare, tehnologia laser, refrigerarea la temperatură scăzută, inspecția scurgerilor și detergentul în producția de circuite imprimate. Folosit ca agent frigorific la temperatură joasă și tehnologie de gravare uscată cu plasmă pentru circuite integrate. Precauții pentru depozitare: A se păstra într-un depozit de gaz necombustibil răcoros, ventilat. A se păstra departe de foc și surse de căldură. Temperatura de depozitare nu trebuie să depășească 30°C. Ar trebui să fie depozitat separat de combustibilii și oxidanții ușor (combustibili) și evitați depozitarea mixtă. Zona de depozitare trebuie să fie echipată cu echipamente de tratare a scurgerilor de urgență.

Aplicație:

① Agent frigorific:

Tetrafluormetanul este uneori folosit ca agent frigorific la temperaturi joase.

② Gravurare:

Este utilizat în microfabricarea electronică, singur sau în combinație cu oxigen, ca agent de gravare cu plasmă pentru siliciu, dioxid de siliciu și nitrură de siliciu.

Pachet normal:

Avantaj:

①Puritate ridicată, cea mai recentă instalație;

② Producător certificat ISO;

③Livrare rapidă;

④Sistem de analiză on-line pentru controlul calității în fiecare pas;

⑤Cerință ridicată și proces meticulos pentru manipularea cilindrului înainte de umplere;